Грамматический словарь Зализняка (склонения слова):
Внутриатомный, внутриатомная, внутриатомное, внутриатомные, внутриатомного, внутриатомной, внутриатомного, внутриатомных, внутриатомному, внутриатомной, внутриатомному, внутриатомным, внутриатомный, внутриатомную, внутриатомное, внутриатомные, внутриатомного, внутриатомную, внутриатомное, внутриатомных, внутриатомным, внутриатомной, внутриатомною, внутриатомным, внутриатомными, внутриатомном, внутриатомной, внутриатомном, внутриатомных, внутриатомен, внутриатомна, внутриатомно, внутриатомны, внутриатомнее, повнутриатомнее, внутриатомней, повнутриатомней
ВНУТРИ’АТОМНЫЙ, внутриатомная, внутриатомное (научн.). Совершающийся внутри атомов. Внутриатомный процесс.