Грамматический словарь Зализняка (склонения слова):
Интерферометрия, интерферометрии, интерферометрии, интерферометрий, интерферометрии, интерферометриям, интерферометрию, интерферометрии, интерферометрией, интерферометриею, интерферометриями, интерферометрии, интерферометриях