Грамматический словарь Зализняка (склонения слова):
Микрофотокопия, микрофотокопии, микрофотокопии, микрофотокопий, микрофотокопии, микрофотокопиям, микрофотокопию, микрофотокопии, микрофотокопией, микрофотокопиею, микрофотокопиями, микрофотокопии, микрофотокопиях