Грамматический словарь Зализняка (склонения слова):
Субгармонический, субгармоническая, субгармоническое, субгармонические, субгармонического, субгармонической, субгармонического, субгармонических, субгармоническому, субгармонической, субгармоническому, субгармоническим, субгармонический, субгармоническую, субгармоническое, субгармонические, субгармонического, субгармоническую, субгармоническое, субгармонических, субгармоническим, субгармонической, субгармоническою, субгармоническим, субгармоническими, субгармоническом, субгармонической, субгармоническом, субгармонических, субгармоническ, субгармоническа, субгармоническо, субгармонически