Грамматический словарь Зализняка (склонения слова):
Электровакуумный, электровакуумная, электровакуумное, электровакуумные, электровакуумного, электровакуумной, электровакуумного, электровакуумных, электровакуумному, электровакуумной, электровакуумному, электровакуумным, электровакуумный, электровакуумную, электровакуумное, электровакуумные, электровакуумного, электровакуумную, электровакуумное, электровакуумных, электровакуумным, электровакуумной, электровакуумною, электровакуумным, электровакуумными, электровакуумном, электровакуумной, электровакуумном, электровакуумных, электровакуумен, электровакуумна, электровакуумно, электровакуумны, электровакуумнее, поэлектровакуумнее, электровакуумней, поэлектровакуумней
электрова́куумный
ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЙ -ая, -ое. Техн. Основанный на прохождении электрического тока в вакуумной среде. Э-ые приборы.