Грамматический словарь Зализняка (склонения слова):
Вакуум-аппарат, вакуум-аппараты, вакуум-аппарата, вакуум-аппаратов, вакуум-аппарату, вакуум-аппаратам, вакуум-аппарат, вакуум-аппараты, вакуум-аппаратом, вакуум-аппаратами, вакуум-аппарате, вакуум-аппаратах
< вакуум