Грамматический словарь Зализняка (склонения слова):
Кафетерий, кафетерии, кафетерия, кафетериев, кафетерию, кафетериям, кафетерий, кафетерии, кафетерием, кафетериями, кафетерии, кафетериях
кафете́рий
-я, м.
Род кафе, обычно с самообслуживанием.
[исп. cafeteria]
КАФЕТЕРИЙ [тэ], я, м. Род кафе, обычно с самообслуживанием.
кафете́рий
КАФЕТЕРИЙ [тэ], -я; м. [исп. cafeteria] Небольшая закусочная, где подают кофе, лёгкие закуски.