Грамматический словарь Зализняка (склонения слова):
Субституция, субституции, субституции, субституций, субституции, субституциям, субституцию, субституции, субституцией, субституциею, субституциями, субституции, субституциях
субститу́ция
-и, ж. спец.
Замещение одного другим, обычно сходным по свойствам, назначению.
Субституция одного металла другим. Субституция звуков.
[От лат. substitutio — подстановка]
СУБСТИТУЦИЯ, и, ж. (книжн.). Замещение одного другим, обычно сходным по назначению, по функции.
субститу́ция
СУБСТИТУЦИЯ -и; ж. [от лат. substitutio — подстановка] Спец. Замещение одного другим, обычно сходным по назначению, по функции. С. одного металла другим. С. звуков.
СУБСТИТ’УЦИЯ, субституции, мн. нет, ·жен. (·лат. substitutio-подстановка) (научн. спец.). Замещение одного другим, обычно функционально сходным (напр. замена одного металла родственным другим и в химии и технике, одного звука другим в языке, назначение в завещании второго наследника в случае, если первый не сможет вступить в права наследства).